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                          產品詳情
                          • 產品名稱:BPG552 ATM至超高真空雙真空計

                          • 產品型號:
                          • 產品廠商:INFICON
                          • 產品文檔:
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                          簡單介紹:
                          對于測量范圍要求從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的應用,Trigon? 系列包括雙技術 BPG552 真空計。BPG552 由一個 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和一個經典、堅固、可靠的皮拉尼傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙絲提供了**的精度、可重復性和使用壽命。
                          詳情介紹:

                          對于測量范圍要求從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的應用,Trigon? 系列包括雙技術 BPG552 真空計。BPG552 由一個 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和一個經典、堅固、可靠的皮拉尼傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙絲提供了超卓的精度、可重復性和使用壽命。


                          優勢
                          1,雙測量儀(2 個傳感元件),測量范圍寬,降低成本,節省空間
                          2,用于 Bayard-Alpert 系統的 2 根燈絲
                          3,皮拉尼互鎖保護,避免燈絲過早燒毀
                          4,自動高真空皮拉尼調節,減少操作員干預
                          5,電隔離電子元件,避免雜散電流
                          6,滑動排放模式,避免切換排放流時出現壓力跳躍和凍結現象
                          7,可移動的校準數據芯片延長了烘烤時間
                          8,設定點繼電器
                          9,明亮大屏幕 OLED 顯示屏(可 90° 旋轉),帶用戶界面
                          10,模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
                          11,可與 VGC50x 控制器系列配合使用
                          12,向后兼容 BPG402

                          13,符合 RoHS 規范


                          典型應用
                          半導體工藝中的壓力測量
                          工業鍍膜
                          低真空到超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制 超高真空范圍


                          測量范圍(空氣、O2、CO、N2) 5 × 10-10 … 1000 mbar

                          準確性   1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar  讀數的 ±15
                                       1 x 10-2 mbar … 1000 mbar   讀數的 ±30
                          重復性 讀數的 5%,10-8 ... 10-2 毫巴(穩定 10 分鐘后)
                          暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢

                          杭公網安備 33010502004916號

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