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                          產品詳情
                          • 產品名稱:PPG570 ATM 轉中真空計

                          • 產品型號:
                          • 產品廠商:INFICON
                          • 產品文檔:
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                          簡單介紹:
                          新型 INFICON 皮拉尼壓電組合真空計 (PPG570) 基于*先進的 MEMS(微機電系統)傳感器技術,該技術也用于我們的 PPG550“ATM 至中真空”壓力計。
                          詳情介紹:

                          新型 INFICON 皮拉尼壓電組合真空計 (PPG570) 基于*先進的 MEMS(微機電系統)傳感器技術,該技術也用于我們的 PPG550“ATM 至中真空”壓力計。


                          PPG570與PPG550的區別在于附加安裝的ATM傳感器,允許在經典的負載鎖定應用中使用PPG570。例如,在半導體行業或任何其他真空應用中,相對于大氣環境壓力的精準壓力測量非常重要。

                          在MEMS工藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術可以構建一個非常小的傳感器,從而節省空間,這使得測量設備的整體高度非常小成為可能。


                          除了高度低的優勢外,基于MEMS技術的皮拉尼還具有在高壓范圍內比經典皮拉尼更深、更精準地測量的優勢。結合安裝在同一法蘭上的MEMS壓電傳感器,皮拉尼真空計成為真正的真空寬量程計,將測量范圍擴展到遠遠超過通常的1000 mbar,也朝向大氣。同時,MEMS壓電傳感器提供2 ...1333毫巴。上述技術的另一個優點是增加了對加速力和振動的抵抗力。

                          *后但并非*不重要的一點是,新型 INFICON PPG570 可用于直接插入,以取代所謂的 MKS 儀器 MKS901P“微型皮拉尼?和壓電負載鎖真空壓力傳感器”。PPG570具有相同的連接器/引腳分配,模擬輸出和RS232/485數字通信協議兼容性。

                          好處
                          1,氣體類型與 2 mbar 以上無關 – 允許使用任何氣體混合物安 全排氣
                          2,在大氣中具有高精度和可重復性 – 用于可靠、快速的大氣壓檢測
                          3,大氣環境壓力測量
                          4,多達 3 個固態繼電器
                          5,安裝方向的多功能 – 為工具設計提供工程自由度
                          6,可選模擬輸出信號,便于系統集成
                          7,數字接口 RS232/ RS485
                          8,能夠直接插入替換MKS901P“微型皮拉尼? - 和壓電負載鎖真空壓力傳感器”。
                          9,合規性和標準:CE,EN,UL,CSA,RoHS


                          典型應用
                          1,半導體負載鎖應用
                          2,用于分析設備/質量分離計
                          3,物**相沉積
                          4,物**相沉積



                          杭公網安備 33010502004916號

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