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                          產品詳情
                          • 產品名稱:英??凳⒕w監測儀

                          • 產品型號:SQM160
                          • 產品廠商:INFICON
                          • 產品文檔:
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                          簡單介紹:
                          SQM160使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術在薄膜沉積過程中測量速率和厚度。兩個傳感器輸入為標準輸入,另外四個傳感器輸入為可選輸入。兩個記錄器輸出提供模擬速度和厚度信號。
                          詳情介紹:




                          SQM160是利用INFICON石英晶體傳感技術在鍍膜過程中測量沉積速率和膜厚的精密儀器,標準型有兩路傳感器輸入,同時,4路傳感器輸入可選,具體視用戶實際應用而定;雙輸出可以向操作者提供直觀的模擬沉積速率及膜厚信號。在大型系統中,傳感器輸入可以分配給不同材料,采集的數據通過平均值,以達到更精準的沉積控制;也可以設定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中,為了延長傳感器的使用壽命,速率采集模式允許探頭帶一個檔板。用戶可以自己選擇0.1?/s 還是0.01?/s的速率顯示模式.另外,還可以選擇頻率或質量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號時間、膜厚設定值以及晶片失效信號等。

                          數字輸入可以通過外部信號來對讀數進行開始/停止和清零操作。SQM160石英晶體監測儀采用了RS-232接口和Windows®窗口軟件,可以通過電腦上進行調試安裝。軟件可以用來設置和存儲所有參數,包括儀器操作和保留程序數據到特定的Excel®文檔。同時,USB或以太網選項也添加通信協議中,以超大程度方便不同用戶。

                          便于使用
                          開啟速率和膜厚測量,只需先按住Zero鍵以消除上次讀數,然后關閉,打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時顯示膜層厚度和沉積速率,即使操作人員離監測儀一定距離也仍然清晰可見。當達到預設膜厚或者鍍膜時間到了,檔板就會自動關閉,同時前面板報警器開始亮燈。在鍍膜過程中,操作員可以在任意時間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩余使用壽命。雙菜單可以對監測儀的99個存儲膜系進行設置。首先,選“program”鍵,進入菜單,然后,旋轉撥針鈕,這樣就可以選擇或者編輯參數了。主顯示界面顯示菜單提示,而設定的數據可以在輔助界面中找到。

                          高精度,低成本
                          標準型的頻率分辨率是0.12HZ@ 4個讀數/秒,如果用戶有更嚴格的需求可以選擇分辨率為0.03HZ@ 10個讀數/秒的高精型。SQM160另一大優點是在整個工作范圍內,溫度穩定性可以達到2ppm。高精度和高穩定性的聯袂使得該款儀器具備了超卓的性價比。

                          產品特點:
                          ■ 雙通道(標準型),四通道可選
                          ■ 沉積速率/膜層厚度模擬輸出
                          ■ 高精度: 0.03Hz at 10個讀數/s
                          ■ RS-232 接口, USB 或以太網可選 

                          產品規格:
                          QCM傳感器輸入                 標準型: 2;路       可選: 4路 
                          頻率范圍                             1-10 MHz 
                          頻率分辨率                          標準型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec
                                                                      可選: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec 
                          頻率穩定性                          在 0o to 50oC,總計± 2 ppm 
                          可選擇的測量周期                0.10 to 2 sec (每級增量0.05 sec) 
                          測量選擇                              1 to 20 readings 
                          存儲膜系                              99 
                          模擬輸出                              2路0 to 10 VDC輸出, 沉積速率 & 膜厚 
                          數字輸入/輸出                      2 路數字輸入, 4路繼電輸出 
                          數字接口                              標準型: RS-232 
                                                                      可選: USB or 以太網 
                          電源                                     0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W 
                          CE 標識                               Class 1 equipment 73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD 
                          安裝支架                             1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 
                                                                      89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
                          重量                                     2.7 Kg (6 lbs) 
                          Windows軟件(included) 提供遠程安裝和操作指導,數據錄入功能
                          定貨信息
                          附件
                          782-900-008             單臺SQM-160 19"安裝支架
                          782-900-014             雙臺SQM-160 19"安裝支架
                          782-502-062             4傳感器輸入擴展卡 (將標準型2路擴展到6路) 
                          782-900-042             高分辨率選件(此項需在工廠中完成安裝)
                          782-900-040             USB選擇卡 
                          782-900-041             以太網選擇卡 



                          杭公網安備 33010502004916號

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